사업소개

부품사업

CVD SiC는 화학기상증착 (CVD, Chemical Vapor Deposition) 공법을 사용하여 SiC를 증착시키는 기술입니다.
당사는 지난 수년 간 축적시킨 CVD SiC 증착 기술을 활용하여 박막층착에서부터 수mm 이상의 두꺼운 Bulk 형태로
증착시킬 수 있는 기술을 개발하여 안정적인 생산 공정을 확보했습니다.

Overview

Bulk CVD SiC

Coated CVD SiC

Si & Ceramic

CVD SiC Coated Components

CVD-SiC 코팅 부품은 첨단 CVD 공법으로 생산되어 원소재의 out-gassing과 particle 발생을 효과적으로 억제합니다. 이로 인해 고온 및 진공 환경에서도 안정적인 성능을 유지하며, 반도체 및 첨단 산업 공정에서 필수적인 높은 청정도와 내구성을 제공합니다. 탁월한 내식성과 내열성으로 장비의 수명을 연장하고, 공정의 신뢰성을 극대화합니다